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真空電子器件指借助電子在真空或者氣體中與電磁場發(fā)生相互作用，將一種形式電磁能量轉換為另一種形式電磁能量的器件。具有真空密封管殼和若干電極，管內抽成真空，殘余氣體壓力為10-4～10-8帕。有些在抽出管內氣體后，再充入所需成分和壓強的氣體。
真空電子器件廣泛用于廣播、通信、電視、雷達、導航、自動控制、電子對抗、計算機終端顯示、醫(yī)學診斷治療等領域。零件經處理、裝配，制造成真空電子器件，并通過老煉、調整、測試而達到設計所規(guī)定的性能要求，這一整個過程和方法即為真空電子器件的制造工藝。
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